一、 設備基本原理及主要用途

1. 1. 設備用途

適用于電子陶瓷與高溫結構陶瓷的燒結、玻璃的精密退火與微晶化、晶體的精密退火、陶瓷釉料制備、粉末冶金、納米材料的燒結、金屬零件淬火及需快速升溫工藝要求的熱處理，應用于電子元器件、新型材料及粉體材料的真空氣氛處理，材料在惰性氣氛環境下進行燒結。本設備具有可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高等特點。綜合性能指標較高，處于國內水平。根據不同的使用氣氛及使用溫度，使用不同的加熱元件，型號，對需在惰性氣體環境下燒結的材料，本設備是一個非常好的選擇，同時也可滿足于不同工藝實驗而特殊制造。

1. 2. 設備簡介 

該真空電阻爐以硅棒為加熱元件，采用雙層殼體結構和廈門宇電30-50段程序控溫系統，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁材料，雙層爐殼間配有風冷系統。爐體采用整體密封，蓋板和爐門密封采用高溫硅膠板、爐門口安裝有真空系統、水冷系統等，氣體經過流量計后進入爐體，可以通氬氣、氮氣等惰性氣體，并能抽真空。

二、 主要技術參數

1. 1. 加熱功率：   5KW

       加熱形式：   硅棒

                       左右兩面加熱，溫場均勻，能耗低

 升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min

1. 1. 爐膛尺寸：    150mm*150mm*150mm（長方體）

2. 2. 外形尺寸：    1800mm*1300mm*1600mm(高/寬/長）

3. 3. 保溫材料：    高純氧化鋁微晶體纖維，保溫性能好

4. 4. 裝料方式：    前側裝料

5. 5. 氣氛種類：    惰性氣體（氮氣，氬氣）

6. 6. 常規中空度：  6.7x10^(-2) Pa

7. 7. 極限真空度：  6.7x10^(-3) Pa

8. 8. 極限充氣壓力：≤0.05Mpa

9. 9. 長期使用壓力：≤0.04Mpa（微正壓、表壓）

10. 10. 控制精度：    ±1 ℃

11. 11. 熱電偶型號：K型

12. 12. 溫控控制：    30段程序控溫系統，PID控制

13. 13. 內外層爐殼：  SECC鋼板防銹處理，并經粉體烤漆處理

14. 14. 設備表面溫度：≤60℃

15. 15. 數據導出系統：可通過USB將升降溫工藝導出，曲線圖顯示

一、 結構組成

真空電阻爐主要由爐體、加熱保溫系統、真空系統、氣氛控制系統、水冷系統、電器控制系統等組成。

二、 設備結構特征

1. 1. 爐體

爐體采用雙層殼體結構，爐內殼體采用整體密封，爐門密封采用高溫硅膠板密封、爐口設有水冷系統以保護爐口密封圈，爐殼配有水冷系統，保證表面溫度≤60 ℃。

1. 2. 加熱保溫系統

加熱元件采用硅鉬棒，合理均勻的布置在物料兩側，爐膛采用高純氧化鋁微晶體纖維，保溫性能良好。測溫元件選用K型熱電偶，并配置廈門宇電30段溫控儀表，當系統超溫時，自動進行聲光報警，以進行相應的動作。

1. 3. 真空機組

真空機組采用擴散泵機組，KT-300擴散泵+2X旋片泵。

高真空擴散泵為一臺KT-300擴散泵。抽氣速率為4000L/S，功率為2.5KW

真空系統其它輔件有高真空擋板閥（主閥、粗抽閥、前級閥）、冷阱（防止返油）、不銹鋼波紋管、放氣電磁閥（防止返油）及真空管路等。本系統采用真空機組，具有抽氣速度大且極限真空度高的優點。

4.水冷系統

由各種閥、測溫裝置、水流量計及管道相關裝置組成，具有關鍵位置冷卻水超溫，

斷水聲、光報警并執行相應的保護動作，為設備正常穩定運行提供保障。

5.電氣控制系統 

控制系統主要包括：溫度控制、氣氛控制、真空控制等。溫度控制為PID微電腦自動演算，PV/SV同時顯示按鍵設定移相觸發、可控硅控制，控制儀表采用廈門宇電30-50段程序控溫儀表，控制精度高，控制系統采用IEC標準，電氣元件及測量元件，操作簡單、直觀?？刂葡到y主要包括：整體控制柜1套，內含：按紐、指示燈、報警器，空氣開關、接觸器、電纜橋架等。

三、 成套配置

1. 1. 爐體：                           1套

2. 2. 加熱及保溫系統：        

a) 硅鉬棒                   1套

b) 氧化鋁多晶纖維               1套

1. 3. 真空系統：              

a) KT-300擴散泵：              1臺

b) 2X機械泵：                  1臺

c) DN250真空氣動擋板閥：   1只

d) 真空電磁閥：             2只

e) ZDF-5227復合真空計：        1套

f) 金屬波紋管：                 1套

g) 真空放氣閥：                 1只

h) 真空測量系統：               1套

i) 真空管路：                   1套

1. 4. 水冷系統：              

a) 測溫裝置                     1套

b) 水流量計                     若干

1. 5. 電氣控制系統：          

a) 控制柜：                     1只

b) 變壓器：                     1只

c) 氣動元件：                   1套（含連接到氣源）

d) 連接電纜：                   1套（僅爐體部分）

e) 鉑銠熱電偶：                 1只

f) 溫度控制儀表：                   1只

四、 備用件

設備的備用件如下：

1. 1. 坩堝鉗：                兩把

2. 2. 墊磚：                  兩塊

3. 3. 高溫手套：              兩雙

4. 4. 剛玉坩堝：              兩個

5. 5. 真空系統密封圈：        兩套

五、 保護系統

1. 1. 電氣聯鎖保護系統

2. 2. 電熱過電流保護裝置

3. 3. 保險絲

4. 4. 壓力閥

5. 5. 超溫報警

 六、 安裝、調試及驗收

1. 1. 買方負責地基、氣源、水源，供方電控柜總線輸入端之前的進線電纜。在所有準備工作完成后，通知供方進行安裝、調試。設備以供方組織，買方配合的方式在買方現場安裝、調試并達到買方正常使用的要求；

2. 2. 驗收標準依據雙方簽訂的設備技術協議驗收。在供方現場進行預驗收，合格后發至買方現場。在買方現場安裝調試合格后，進行終驗收；

3. 3. 驗收工作完成后，由雙方共同簽署設備終驗收報告。