主要技術參數                            

◆工藝管數量：可根據客戶需求制作為1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆結構型式：臥式熱壁型或立式

◆工作溫度范圍：400～1280℃

◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）

         噪音：≤62dB（A）

       震動：≤3μm

◆控制方式： 工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制