ASML 真空調(diào)節(jié)器 4022.639.82381
ASML 真空調(diào)節(jié)器 4022.639.82381產(chǎn)品簡介
寧德潤恒自動化專注于半導(dǎo)體設(shè)備核心部件供應(yīng)，現(xiàn)提供原裝ASML真空調(diào)節(jié)器4022.639.82381，專為光刻機真空控制系統(tǒng)設(shè)計，確保設(shè)備運行穩(wěn)定性與工藝精度。該真空調(diào)節(jié)器具備壓力調(diào)節(jié)能力，廣泛應(yīng)用于晶圓制造、先進封裝等半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
核心參數(shù)與技術(shù)特性
1.
壓力調(diào)節(jié)范圍
○
工作氣壓：0.1~10 Torr（支持定制化壓力區(qū)間）
○
調(diào)節(jié)精度：±0.01 Torr，滿足納米級工藝要求
2.
流體控制性能
○
大流量：30 slm（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下）
○
響應(yīng)時間：≤1ms，實現(xiàn)快速壓力穩(wěn)定
3.
接口與兼容性
○
電氣接口：RS-485通訊協(xié)議，支持SECS/GEM半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)
○
機械接口：DN16 ISO-KF法蘭，兼容主流光刻機真空系統(tǒng)
4.
環(huán)境適應(yīng)性
○
工作溫度：-20℃~60℃
○
防護等級：IP65，抗腐蝕設(shè)計，適用于潔凈室環(huán)境
產(chǎn)品優(yōu)勢
●
穩(wěn)定控制：內(nèi)置PID算法與閉環(huán)反饋系統(tǒng)，有效抑制壓力波動，保障光刻工藝一致性。
●
長壽命設(shè)計：采用進口陶瓷密封件與不銹鋼閥體，耐受百萬次循環(huán)測試，降低設(shè)備維護成本。
●
快速交付能力：寧德潤恒自動化擁有ASML備件戰(zhàn)略庫存，常規(guī)型號可實現(xiàn)7-15天交貨。
應(yīng)用領(lǐng)域
●
適用于ASML：TWINSCAN NXT:1950i/2050i/2100i光刻機
●
兼容設(shè)備：真空腔體壓力控制、晶圓傳輸模塊、曝光系統(tǒng)
結(jié)語
ASML真空調(diào)節(jié)器4022.639.82381是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵部件，其與穩(wěn)定性為先進制程保駕護航。寧德潤恒自動化依托原廠渠道與技術(shù)服務(wù)團隊，為客戶提供從選型咨詢到安裝調(diào)試的全流程支持，助力客戶提升設(shè)備稼動率與產(chǎn)能效率。
ASML 真空調(diào)節(jié)器 4022.639.82381
豫公網(wǎng)安備41010502000017號 
